Taolo e itekanetseng ea mocheso le mongobo
Mocheso le mongobo oa kamore e hloekileng li khethoa haholo-holo ho latela litlhoko tsa ts'ebetso, empa tlas'a boemo ba hore litlhoko tsa ts'ebetso li finyelloa, matšeliso a batho a lokela ho nkoa.Ka keketseho ea litlhoko tsa bohloeki ba moea, ho na le mokhoa oa hore ts'ebetso e na le litlhoko tse thata ho feta mocheso le mongobo.
Ha ho nepahala ha mochini ho ntse ho ntlafala le ho feta, litlhoko tsa maemo a feto-fetohang a mocheso li ntse li fokotseha.Ka mohlala, ts'ebetsong ea tlhahiso ea lithography ea tlhahiso e kholo ea potoloho e kopantsoeng, phapang pakeng tsa coefficient ea ho atolosa mocheso oa khalase le silicon wafer e le thepa ea diaphragm e hlokahalang hore e be nyenyane le e nyenyane.Sephaphatha sa silicon se bophara ba 100μm se tla baka katoloso ea mola oa 0.24μm ha mocheso o nyoloha ka 1 degree.Ka hona, e tlameha ho ba le mocheso o sa khaotseng oa likhato tse ± 0.1.Ka nako e ts'oanang, boleng ba mongobo ka kakaretso bo hlokeha ho ba tlase, hobane ka mor'a hore motho a fufuleloe, sehlahisoa se tla silafala, haholo-holo Bakeng sa lithupelo tsa semiconductor tse tšabang sodium, mofuta ona oa workshop o hloekileng ha oa lokela ho feta likhato tse 25.
Mongobo o feteletseng o baka mathata a mangata.Ha mongobo o lekanyelitsoeng o feta 55%, condensation e tla etsahala leboteng la pipe ea metsi a pholileng.Haeba e etsahala ka sesebelisoa se nepahetseng kapa potoloho, e tla baka likotsi tse fapaneng.Ho bonolo ho rusa ha mongobo o lekanyelitsoeng o le 50%.Ho phaella moo, ha mongobo o phahame haholo, lerōle le holim'a sephaphatha sa silicon le tla khabisoa ka lik'hemik'hale ke limolek'hule tsa metsi tse moeeng ho ea holimo, tseo ho leng thata ho li tlosa.Ha mongobo o lekanyelitsoeng o phahame, ho thata le ho feta ho tlosa sekhomaretsi, empa ha mongobo o lekanyelitsoeng o le tlase ho 30%, likaroloana li boetse li khabisoa habonolo holim'a metsi ka lebaka la ketso ea matla a electrostatic, le palo e kholo ea semiconductor. lisebelisoa li kotsing ea ho senyeha.Mocheso o motle ka ho fetisisa oa tlhahiso ea silicon oafer ke 35 ~ 45%.
